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精密定位工作臺系列
精密定位工作臺系列是精密加工技術和電子工學相結合的產物. 在底座和滑臺之間組裝上直線導軌、滾珠絲桿和電機組成精密定位工作臺。我們通過結合運用精密加工技術和電子工藝制造出了精密定位工作臺系列產品。從模塊式到高精密式種類繁多。精密定位工作臺系列廣泛應用于半導體制造和平板顯示器等很多精密器械的定位機構。IKO可以從定位工作臺到控制用控制系統提供整套設備,為設計方便及組裝工時的削減做出貢獻。
滾珠絲杠驅動
精密定位工作臺TU
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精密定位工作臺TE
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精密定位工作臺L
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精密定位工作臺LH
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高精密定位工作臺TX
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無塵室精密定位工作臺TC
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潔凈室用精密定位工作臺TC...E
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緊湊型系列TS/CT
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微精密定位工作臺TM
直線電機驅動
直線電機LT
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直線電機 LT...M
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納米直線電機NT
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納米直線電機NT...V
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納米直線電機 NT...H
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納米直線電機 NT...XZ
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納米直線電機NT...XZH
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皮帶傳動系列TSLB
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精密定位工作臺AT
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輪轉工作臺RT
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角度精密定位工作臺(組件)SA...M
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角度精密定位工作臺(直流驅動)SA...DE
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精密升降臺 TZ
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壓電精密定位工作臺SP
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